等离子清洗机产生的气体对人体伤害

LCD， LTPS， OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。