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半自动快速退火炉

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简要描述:

半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统,可兼容4-12英寸晶圆Wafer。

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半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统,可兼容4-12英寸晶圆Wafer。

半导体快速退火炉的产品优势

✅采用红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;

✅快速PID温控,可精准控制温度升温,保证良好的重现性和温度均匀性;

✅采用平行气路进气方式,气体进出口设置在晶圆表面,避免退火过程中冷点产生,保证良好的温度均匀性;

✅大气与真空处理方式均可选择,实现进气前气体净化处理;

✅标配两组工艺气体,最多可扩展至6组工艺气体。

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晟鼎精密核心产品系列有接触角测量仪、等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置、半导体快速退火炉等表面性能处理及检测仪器设备。

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