全自动双腔半导体退火炉

快速退火炉是利用卤素红外灯作为热源，通过极快的升温速率，将材料在极短的时间内从室温加热到300℃-1250℃，从而消除材料内部的一些缺陷，改善产品性能。

全自动双腔半导体退火炉，RTP-DTS-8是一款全自动双腔快速退火设备，可兼容6-8英寸晶圆Wafer。

全自动双腔半导体退火炉产品优势：

全自动双腔设计，有效提升产能；

最高温度可达1250℃，具有超高温场均匀性；

具备稳定的温度重现性；

能够满足SIC量产化制程需求。

晟鼎是一家集研发与设计、生产、销售及产业链服务为一体的高新技术企业。致力于提供表面性能处理及检测整体解决方案。