晟鼎-小型真空等离子清洗机 半导体行业应用

晟鼎-小型真空等离子清洗机 半导体行业应用，会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

型号：小型真空等离子清洗机

深入表面 · 魅力科学

（1）达因特真空等离子清洗机产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

（1.2）小型真空等离子清洗机清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV清洗等，具有以下优点：

（A）处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

（B）处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。

（C）处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

（D）可以处理各种形状的样品

对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。

真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

（1.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

（A）控制单元：

控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

（B）真空腔体：

真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。

（C）真空泵：

真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。

（2）技术规格

（3）性能优势

（3.1）*电源：采用*高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。

（3.2）全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。

（3.3）*放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

（3.4）密封性的真空腔体设计：军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，配置进口真空泵。

（3.5）优质产品部件：产品全部部件采用国内外*优质部件，确保设备性能优越

（3.6）超低清洗温度：满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。

（3.7）精密数控加工：进口精密CNC数控机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

（3.8）适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，*均匀清洗

晟鼎-小型真空等离子清洗机 半导体行业应用，会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。