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桌面式半导体快速退火炉，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火设备，标配三组工艺气体，可最大兼容6英寸晶圆Wafer。
半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统，可兼容4-12英寸晶圆Wafer。
全自动双腔半导体退火炉，RTP-DTS-8是一款全自动双腔快速退火设备，可兼容6-8英寸晶圆Wafer。
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