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从硅片到电池片,看看晟鼎等离子清洗技术如何用?
发布时间:2023-05-30   点击次数:236次

从硅片到电池片,看看等离子清洗技术如何用?


硅基光伏电池片制程

硅基光伏电池板制程.png

从硅片到电池片:

从目前主流的单晶硅PERC电池制作流程为例,从硅片到电池片大概要经历:

清洗制绒→扩散制结→刻蚀&去磷硅玻璃→PECVD→印刷电极&烧结→分选测试/检验入库等,而在清洗、制绒、刻蚀、PECVD等环节,均可使用晟鼎等离子清洗机,下面我们来看具体的应用。


等离子在电池片工艺中的应用

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01清洗与制绒

在清洗与制绒工艺环节,一般是用碱性或酸性腐蚀液进行湿式化学清洗,制绒效果不仅受多因素影响,且多孔硅结构松散不稳定,具有较高表面复合率。

等离子清洗机处理方案:

使用等离子体的高速粒子轰击电池片表面,可将绒面处理的更加细致有序,表面结构也更加稳定,减少复合中心的产生;还可同时清除材料表面的指纹油污,减少湿式处理的烘干环节。


02刻蚀&去磷硅玻璃

在上道扩散工序中,PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到pn结的背面,从而造成短路。因此,必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的PN结。

通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子体可以通过粒子吹扫将多余扩散的磷分解,从而达到去除PSG的目的。

03 PECVD

为了减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层氮化硅减反射膜。

工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜,PECVD即等离子增强型化学气相沉积,它是利用低温等离子体作能量源,产品置于低气压下辉光放电的阴级上,利用辉光放电使产品升温到预定的温度,然后通过适量的反应气体SiH4和NH3,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在产品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。

晟鼎等离子清洗机

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适用于光伏玻璃、电池片、背板、框架等部件的清洗活化,可搭配直喷或旋转枪头,可定制大气等离子流水线设备。


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适用于光伏玻璃、电池片、背板、框架等部件的清洗活化,可客制化宽幅线性等离子流水线设备。


微信截图_20230309104746.png

适用于面积大、形状复杂的材料清洗,可搭配多路工艺气体,可客制化真空等离子流水线设备。


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