达因特等离子清洗机应用,广东等离子清洗机处理原理:等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证,处理过的样品表面*被水润湿。长时间的等离子处理(大于15分钟),材料表面不但被活化还会被刻蚀,刻蚀表面具有最大润湿能力。
一、金属表面去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到*洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果:
灰化表面有机层
-表面会受到化学轰击(氧 下图)
-在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发
-污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
通过等离子处理表现处污染层不能太厚,只能作用到很轻微的表面。
氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应(下图)
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。先用氧气氧化表面5分钟,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。
等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时,下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。
等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
除了上以应用,我们所指的等离子处理主要集中在表面性能活化的应用上。如塑料、玻璃和陶瓷的表面活化
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时,玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也可以处理。
等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证,处理过的样品表面*被水润湿。长时间的等离子处理(大于15分钟),材料表面不但被活化还会被刻蚀,刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点:
1、可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、不会对人员的身体造成任何伤害。
3、其成本对于等离子处理方法来说是比较合理的。
小型等离子设备广泛应用于等离子清洗和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力。同时小型等离子清洗、刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于大学、科研机构高科技生产单位的以下场合:
其具体应用包括:
1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化
玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是没有极性的,因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。
2、PCB 摄像头模组 汽车零部件的表面处理及活化
材料表面常常会有等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到无氧化层的表面。