真空等离子处理,真空等离子清洗机 SPV-150 技术规格,等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。
(实际外观以出厂的为准)
(1)产品简述
(1.1)等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是:
(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但
清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细
坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
(B)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的键能在 0~10eV,因此等离子体作
用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键
形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的
官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。
(1.2)产品原理
等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气
体系统、以及真空泵系统。
(A) 控制系统:
控制系统:触摸屏+PLC
(B) 激励电源系统:
电源:13.56MHz 的射频激励电源,
(C) 真空腔体:
铝合金腔体,
(D) 工艺气体系统:
工艺气体:氩氢混合气
(E) 真空泵:油泵主要采用双级旋片油泵
(2.1)技术参数
美国 CERES 射频电源,13.56MHz | ||
电源系统 | 功率 0~600W 可调; | |
美国 CERES 全自动真空电容匹配器 | ||
德国天津莱宝,TRIVAC 60T | ||
真空系统 | 真空计:日本英福康皮拉尼真空计 | |
真空管路:全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 | ||
铝合金真空腔体,军工级焊接密封,25mm 厚度 | ||
腔体系统 | 腔体内部尺寸:450×450×500mm(宽×高×深) | |
电极板布置方式:*竖电极板,可活动抽取 | ||
空间层数:3 竖隔 | ||
气压阀,日本 SMC | ||
气体系统 | 流量计,浮子流量计,0~300SCCM | |
一路工艺气体:氩氢混合气体 | ||
PLC,德国西门子 S 系列 | ||
控制系统 | 触摸屏,威纶通,七寸屏幕 | |
电气部件:德国施耐德品牌 | ||
外形尺寸:约 890×1745×1000mm(宽×高×深) | ||
其它参数 | 重量:400KG | |
颜色:银灰色 | ||
(2.2)尺寸参数
(2.3)配置清单
配置清单
名称 | 描述说明 | 单位 | 数量 | |
真空腔体 | 铝合金真空腔体,尺寸:450×450×500mm(宽×高×深) | 个 | 1 | |
射频电源 | 美国 CERES 射频电源,13.56MHz | 台 | 1 | |
功率 0~600W 可调 | ||||
电源匹配器 | 美国 CERES 全自动真空电容匹配器 | 台 | 1 | |
PLC | 德国西门子,S7-200 | 个 | 1 | |
触摸屏 | 威纶通,MT6071iE | 个 | 1 | |
流量计 | 氩氢混合气 | 个 | 1 | |
真空泵组 | 德国天津莱宝,TRIVAC 60T | 套 | 1 | |
真空计 | 日本皮拉尼,PSG | 个 | 1 |
真空电磁阀 | 日本 SMC,VQD | 个 | 1 |
说明书 | 真空等离子清洗机 SPV-100 操作说明书 | 份 | 1 |
(3)安装、调试、保养
(3.1).装卸要求:需提供插车;
(3.2)安装环境要求:
A.三相 380V 的,五线(三根火线、一根零线、一根地线)供电电源,功率 5000W,4 平方线;
B.气体,氩氢混合气;
C.无水无油的压缩空气。
(3.3)安装及调试过程需协助;如提供测试样品及测试要求等。
(3.4)调试期限:1 天
(3.5)效果验证:采用接触角测试,对处理后的样品进行量化评估,确保效果
和均匀性及稳定性。
(3.6)保养:
A.为了更好的延续设备的使用寿命,我们的真空设备需要定期保养,保养周
期:3 个月。
B.保养明细:
真空等离子设备保养表
项目 | 是 | 否 | |
1 | 检查抽空时间是否超标 | √ | |
2 | 检查密封圈是否有裂痕 | √ | |
3 | 检查视窗玻璃螺丝是否需紧固 | √ | |
4 | 检查电极板插针是否需更换 | √ | |
5 | 检查设备放电是否正常 | √ | |
6 | 检查腔门感应开关接触是否良好 | √ | |
7 | 更换过滤器滤芯 | √ | |
8 | 更换真空泵油 | √ | |
9 | 检查真空泵密封 | √ | |
10 | 检查回油装置是否正常 | √ | |
11 | 清理泵体油污 | √ | |
(4)耗材清单
序号 | 易损件名称 | 单位 | 备注 | |
数量 |
1 | 更换泵油 | L | 5 | ||
3 个月更换一次 | |||||
2 | 更换滤芯 | 个 | 1 | ||
3 | 工业气体 | 瓶 | 1 | 一般使用一路气体 |