真空等离子处理，真空等离子清洗机 SPV-150 技术规格,等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。
 

（实际外观以出厂的为准）

（1）产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但

清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细

坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作

用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键

形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的

官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

（1.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气

体系统、以及真空泵系统。

（A） 控制系统：

控制系统：触摸屏+PLC

（B） 激励电源系统：

电源：13.56MHz 的射频激励电源，

（C） 真空腔体：

铝合金腔体，

（D） 工艺气体系统：

工艺气体：氩氢混合气

（E） 真空泵：油泵主要采用双级旋片油泵

（2.1）技术参数

（2.2）尺寸参数

（2.3）配置清单

配置清单

（3）安装、调试、保养

（3.1）.装卸要求：需提供插车；

（3.2）安装环境要求：

A.三相 380V 的，五线（三根火线、一根零线、一根地线）供电电源，功率 5000W,4 平方线；

B.气体，氩氢混合气；

C.无水无油的压缩空气。

（3.3）安装及调试过程需协助；如提供测试样品及测试要求等。

（3.4）调试期限：1 天

（3.5）效果验证：采用接触角测试，对处理后的样品进行量化评估，确保效果

和均匀性及稳定性。

（3.6）保养：

A.为了更好的延续设备的使用寿命，我们的真空设备需要定期保养,保养周

期：3 个月。

B.保养明细：

真空等离子设备保养表

（4）耗材清单