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晶圆接触角测量仪测试视频及效果-晟鼎精密仪器
发布时间:2019-04-08   点击次数:854次

    晶圆接触角测量仪采用先进的CCD数字摄像机,配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统,搭配三维样品台,可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台,能适应在不同用户材料厚度加大的场合。仪器框架可以根据式样的大小适量调节,扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能,测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下,能让用户更好的对材料数据进行管控。该仪器设计美观大方、操作简单、符合用户所需。

    晶圆表面分析检测测量系统、晶圆表面张力分析系统适用于半导体晶圆(Wafer)工艺的质量控制。提供晶圆(Wafers)表面的快速并准确的接触角/表面能分析,从而评估粘性,洁净度及镀膜。采用轻量化的设计、组装方便和新的基于Windows标准的用户友好型软件,以创建一个即容又容易使用的接触角测量仪系统。注射滴液机制可以抬起便于装载,消除了对晶圆(Wafers)可能产生的损坏。用于晶圆表面分析,同时也可用于其它需要测量较大体积样件的分析应用。样件大可允许 300 X 300 X 19mm。

 

    接触角测量仪主机及测试视频的操作视频及图片:

晶圆接触角测量仪.jpg

晶圆接触角测量仪调试过程.jpg

(1)主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念,自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器以佳状态运行;

(2)成像部分使用高性能日本*工业机芯及无失真远心镜头确保成像效果。

(3)工业级可调LED单波长冷光源系统,成像更清晰

(4)自动位移平台,实现Y、Z自动定位测量,定点地位更,测量效率更高

规格:

主机外形尺寸:1200mm(长)*600mm(宽)* 670mm(高)                 主机净重:55KG

工作台面尺寸:420mm*420mm

工作台移动:自动,行程160mm,精度0.01mm;上下移动 手动,行程20mm,精度0.01mm

进样器移动:自动上下60mm(自动);  左右30mm

工业镜头:前后移动30mm(微调3mm),0.7X *-4.5X连续变倍变焦显微镜

CCD:SONY*高速工业级芯片; 镜头角度可调试:仰视、平视、俯视多视角观察

光源:LED可调节蓝色基调工业级冷光源;使用寿命达贰万伍仟小时以上

电源及功率:220V / 60HZ

晶圆产品处理前WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试,平均角度72.04度。

 

检测单位

SINDIN

试验日期

2018-10-09

操作人员

魏工

打印时间

14:36:02

固体试样

晶圆

液体试样

温度(℃)

25

湿度(%)

60

产品名称

 

物料号

12寸晶圆

备注

 

供应商名称

视涯

试验要求

未清洗前晶圆测试

大角度

82.38

小角度

67.48

平均角度

72.04

晶圆接触角测量仪测试视频及效果

 

晶圆接触角测量仪测试视频及效果

晶圆产品处理后WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试后,再用等离子清洗机处理,平均角度16.58度。

 

检测单位

SINDIN

试验日期

2018-10-09

操作人员

魏工

打印时间

15:36:20

固体试样

晶圆

液体试样

温度(℃)

25

湿度(%)

60

产品名称

 

物料号

12寸晶圆

备注

 

供应商名称

视涯

试验要求

未清洗前晶圆测试

大角度

25.65

小角度

9.55

平均角度

16.58

晶圆接触角测量仪测试视频及效果

 

晶圆接触角测量仪测试视频及效果

 

 

标样校检报告:

仪器检验信息

仪器名称:

  接触角测量仪

检验时间:

2018.10.08

 

仪器型号:

 SDC-500

温    度:

27

 

仪器编号:

 SDCA1810001

湿    度:

68%

 

测试方法:

椭圆法及圆环法  基于大于等于20°使用椭圆法检测 小于20°用圆环法检测

校正信息

精度:

±1°

     
 

校准度数:

 3°  60°  120°   115°

 

校验标准:

标样  ---- 含德国TUV认证的检测报告

   

 

圆弧3°

 

圆弧60°

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

 

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

1

3

2.876

0.124

 

1

60

59.920

0.080

2

3

3.101

0.101

 

2

60

60.000

0.000

3

3

3.121

0.121

 

3

60

60.000

0.000

4

3

3.105

0.105

 

4

60

59.928

0.072   

5

3

2.839

0.161

 

5

60

60.652

0.652

圆弧120°

 

椭圆115°

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

 

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

1

120

120.100

0.100

 

1

115

115.146

0.146

2

120

120.082

0.082

 

2

115

114.910

0.090

3

120

120.000

0.000

 

3

115

115.120

0.120

4

120

120.170

0.170

 

4

115

115.027

0.027

5

120

119.875

0.125

 

5

115

115.159

0.159

 

测试平台移动确认:

合格

 

滴液精度:0.1μL

合格

测量范围:0-180°

合格

 

测量软件:

合格

测量精度:±0.1°

合格

 

测量重复性精度:±1°

合格

mapping功能

合格

 

外观部件:

合格

输出测量报告功能

合格

 

检测数据:

合格

                                   

综合判定:合格

 

 

校检单位:东莞市晟鼎精密仪器有限公司

 

效验人员:赵卫                             主管:张新飞

 

 

 

晶圆系列接触角测量仪对于工艺的表面涂覆评估;

 表面污染物检测;

 表面亲疏性的研究;

 表面润湿性能的判断;

  涂覆均匀性检测;

  涂覆质量评估;

  表面清洁度检测;

  研究粘附性、润湿特性、粘接质量、表面处理;

  半导体晶片、硬盘、 平板显示器和生物材料等表面涂层的吸收研究。

 

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司(www.sindin.net)主营:水滴接触角测量仪,粉体接触角测量仪,大平台接触角测量仪,薄膜水滴角测量仪,如何测量水滴角

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