晶圆接触角测量仪采用先进的CCD数字摄像机,配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统,搭配三维样品台,可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台,能适应在不同用户材料厚度加大的场合。仪器框架可以根据式样的大小适量调节,扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能,测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下,能让用户更好的对材料数据进行管控。该仪器设计美观大方、操作简单、符合用户所需。
晶圆表面分析检测测量系统、晶圆表面张力分析系统适用于半导体晶圆(Wafer)工艺的质量控制。提供晶圆(Wafers)表面的快速并准确的接触角/表面能分析,从而评估粘性,洁净度及镀膜。采用轻量化的设计、组装方便和新的基于Windows标准的用户友好型软件,以创建一个即容又容易使用的接触角测量仪系统。注射滴液机制可以抬起便于装载,消除了对晶圆(Wafers)可能产生的损坏。用于晶圆表面分析,同时也可用于其它需要测量较大体积样件的分析应用。样件大可允许 300 X 300 X 19mm。
接触角测量仪主机及测试视频的操作视频及图片:
(1)主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念,自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器以佳状态运行;
(2)成像部分使用高性能日本*工业机芯及无失真远心镜头确保成像效果。
(3)工业级可调LED单波长冷光源系统,成像更清晰
(4)自动位移平台,实现Y、Z自动定位测量,定点地位更,测量效率更高
规格:
主机外形尺寸:1200mm(长)*600mm(宽)* 670mm(高) 主机净重:55KG
工作台面尺寸:420mm*420mm
工作台移动:自动,行程160mm,精度0.01mm;上下移动 手动,行程20mm,精度0.01mm
进样器移动:自动上下60mm(自动); 左右30mm
工业镜头:前后移动30mm(微调3mm),0.7X *-4.5X连续变倍变焦显微镜
CCD:SONY*高速工业级芯片; 镜头角度可调试:仰视、平视、俯视多视角观察
光源:LED可调节蓝色基调工业级冷光源;使用寿命达贰万伍仟小时以上
电源及功率:220V / 60HZ
晶圆产品处理前WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试,平均角度72.04度。
检测单位 | SINDIN | 试验日期 | 2018-10-09 |
操作人员 | 魏工 | 打印时间 | 14:36:02 |
固体试样 | 晶圆 | 液体试样 | 水 |
温度(℃) | 25 | 湿度(%) | 60 |
产品名称 | 物料号 | 12寸晶圆 | |
备注 | 供应商名称 | 视涯 | |
试验要求 | 未清洗前晶圆测试 | 大角度 | 82.38 |
小角度 | 67.48 | 平均角度 | 72.04 |
晶圆产品处理后WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试后,再用等离子清洗机处理,平均角度16.58度。
检测单位 | SINDIN | 试验日期 | 2018-10-09 |
操作人员 | 魏工 | 打印时间 | 15:36:20 |
固体试样 | 晶圆 | 液体试样 | 水 |
温度(℃) | 25 | 湿度(%) | 60 |
产品名称 | 物料号 | 12寸晶圆 | |
备注 | 供应商名称 | 视涯 | |
试验要求 | 未清洗前晶圆测试 | 大角度 | 25.65 |
小角度 | 9.55 | 平均角度 | 16.58 |
标样校检报告: | ||||||||
仪器检验信息 | 仪器名称: | 接触角测量仪 | 检验时间: | 2018.10.08 | ||||
仪器型号: | SDC-500 | 温 度: | 27 | |||||
仪器编号: | SDCA1810001 | 湿 度: | 68% | |||||
测试方法: | 椭圆法及圆环法 基于大于等于20°使用椭圆法检测 小于20°用圆环法检测 | |||||||
校正信息 | 精度: | ±1° | ||||||
校准度数: | 3° 60° 120° 115° | |||||||
校验标准: | 标样 ---- 含德国TUV认证的检测报告 | |||||||
圆弧3° | 圆弧60° | |||||||
序号 | 标样数据(°) | 检测数据(°) | 误差(°) | 序号 | 标样数据(°) | 检测数据(°) | 误差(°) | |
1 | 3 | 2.876 | 0.124 | 1 | 60 | 59.920 | 0.080 | |
2 | 3 | 3.101 | 0.101 | 2 | 60 | 60.000 | 0.000 | |
3 | 3 | 3.121 | 0.121 | 3 | 60 | 60.000 | 0.000 | |
4 | 3 | 3.105 | 0.105 | 4 | 60 | 59.928 | 0.072 | |
5 | 3 | 2.839 | 0.161 | 5 | 60 | 60.652 | 0.652 | |
圆弧120° | 椭圆115° | |||||||
序号 | 标样数据(°) | 检测数据(°) | 误差(°) | 序号 | 标样数据(°) | 检测数据(°) | 误差(°) | |
1 | 120 | 120.100 | 0.100 | 1 | 115 | 115.146 | 0.146 | |
2 | 120 | 120.082 | 0.082 | 2 | 115 | 114.910 | 0.090 | |
3 | 120 | 120.000 | 0.000 | 3 | 115 | 115.120 | 0.120 | |
4 | 120 | 120.170 | 0.170 | 4 | 115 | 115.027 | 0.027 | |
5 | 120 | 119.875 | 0.125 | 5 | 115 | 115.159 | 0.159 |
测试平台移动确认: | 合格 | 滴液精度:0.1μL | 合格 | |
测量范围:0-180° | 合格 | 测量软件: | 合格 | |
测量精度:±0.1° | 合格 | 测量重复性精度:±1° | 合格 | |
mapping功能 | 合格 | 外观部件: | 合格 | |
输出测量报告功能 | 合格 | 检测数据: | 合格 | |
综合判定:合格
校检单位:东莞市晟鼎精密仪器有限公司
效验人员:赵卫 主管:张新飞
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晶圆系列接触角测量仪对于工艺的表面涂覆评估;
表面污染物检测;
表面亲疏性的研究;
表面润湿性能的判断;
涂覆均匀性检测;
涂覆质量评估;
表面清洁度检测;
研究粘附性、润湿特性、粘接质量、表面处理;
半导体晶片、硬盘、 平板显示器和生物材料等表面涂层的吸收研究。